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表面声波是超声波的一种，是一种沿介质表面传播的机械波。表面声波触摸屏由触摸屏、声波发生器、反射器和声波接收器组成，如下图所示。触摸屏部分可以是平面、球面或是柱面的玻璃平板，安装在CRT、LED、LCD或等离子显示器屏幕的前面。这块玻璃平板只是一块纯粹的强化玻璃，区别于其他触摸屏技术的是，它没有任何贴膜和覆盖层。玻璃屏的左上角和右下角各固定了竖直和水平方向的超声波发射器，右上角则固定了两个相应的超声波接收器。玻璃屏的四个周边则刻有45°、由疏到密精密间隔的反射条纹。
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表面声波的触摸屏内有一个对X轴和Y轴的有发送和接收功能的压电传感器。压电控制器发送电信号至发射传感器，并在玻璃的表面将信号转换成超声波。通过反射器阵列，这些波将覆盖整个触摸屏。反射器收集和控制这些波至接收传感器，将它们转换成电信号，并对每个轴重复这个过程。用户触摸时吸收了传播的波的一部分，同时把接收到的X和Y坐标的信号与存储的数字分布图相比较，从而识别变化并计算出坐标。除了一般触摸屏都能响应的X、Y坐标外，表面声波触摸屏还能响应Z轴坐标，也就是能感知用户触摸压力的大小值，其原理是根据接收信号衰减处的衰减量而计算得到的。三轴一旦确定，控制器就把它们传送给主机。
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表面声波触摸屏的清晰度较高、抗刮伤良好、反应灵敏、不受温度和湿度等环境的影响、分辨率高、寿命长。其主要缺点是受灰尘、水滴、油污等的影响，需要定期清洁反射阵列，适合在POS机、售货亭等公共场所使用。
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