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系统可靠性通常反映系统处理用户工作的可用性或处理过程失败或错误的概率。系统可用的那部分时间被称为正常运行时间，系统不可用的时间被称为停机故障时间。平均故障间隔时间MTBF （Mean Time Between Failure）是系统在相邻两次故障之间工作时间的数学期望。通常我们更要关注两次故障之间工作时间的分布特征。有时，MTBF相对较短，但分布图上可能显示出在个别情况下，相邻故障之间的时间会较长，此时的代价会很大。
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系统失效后在规定时间内可被修复到规定运行水平的能力。可维护性用系统发生一次失败后，系统返回正常状态所需的时间来度量，它包含诊断、失效定位、失效校正等时间。一般用相邻两次故障间工作时间的数学期望，即平均修复时间（Mean Time Between Failure, MTTR）来表示。
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系统的软硬件的扩充能力，可提高系统性能，如扩展槽允许增加插件板到系统上，又如操作系统支持增加处理器、内存及其他资源，等等。
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可维修系统在某时刻能提供有效使用的程度。主要包括使用方便程度以及系统的稳定程度等。有时也指系统实际可用时间与计划提供使用时间的比例。
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系统电能消耗量。世界环保组织已制定了计算机及相关设备的一些功耗限额。
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系统现有的硬件或软件与另一个系统或多种系统的硬件和软件的兼容能力和经过整合进行共同工作的能力。
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程序和数据等信息的安全程度，如数据不被破坏和不被非法修改等。
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确保系统内信息和数据不被非法人员存取，在系统内设置的保密措施，如使用保密锁、保密码等，使个人或组织有保护和使用他们的数据的专门权利。
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系统对环境的适应能力，即外界环境改变时系统为保持正常工作的进行调节的能力。
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以上列出的系统性能指标中，系统的可靠性、可维护性、可用性和功耗都有定量指标，兼容性、安全性、保密性和可扩展性属于定性指标。
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由于性能度量指标的重要程度与具体系统的用户的需求有关，例如军用、商用或者民用的系统之间均会有不同的权重顺序。可以按照具体需求分级别和顺序设置性能评价指标。
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